环保项目

高纯度氢氟酸的生产工艺的制作方法氢氟酸-氟硅酸-氟化氢铵-氟化铵-氢氟酸厂家-齐化工贸有限公司

 

高纯度氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂,可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用,主要应用于集成电路(IC)和超大規模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。随着世界半导体制造业向中国大陆的逐步转移,国内高纯度氢氟酸需求量年增长约10 %,但是目前国内氢氟酸生产主要将エ业无水氢氟酸经氧化剂化学预处理后,进入精馏塔精馏操作,得到的氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度、气液比等方法使高纯度氢氟酸进ー步纯化,随后经0.2 y m以下超滤エ序,最后在密闭洁净环境条件下进行灌装得到最终产品,这样的高纯度氢氟酸生产エ艺存在以下缺陷:产品纯度不理想,需要使用氧化剂对氟化氢进行化学处理,虽然可降低氟化氢中的杂质,但同时也向反应体系中引入了新物质,造成新的杂质,最终产品纯度一般为99.0 99.9%之间,还不能满足电子级氢氟酸的使用要求,此外设备投资较大,需要使用精馏塔等大型化工设备。