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氟硅酸又称硅氟氢酸,化学式为H2SiF6,是一种气态酸,无水氟硅酸是无色气体,不稳定,易分解为四氟化硅氟化氢。水溶液无色,是强酸,有腐蚀性,能侵蚀玻璃。保存于蜡制或塑料制等容器中。浓溶液发烟,冷却时析出无色二水物(二水合氟硅酸)晶体,熔点19℃。氟硅酸有消毒性能。用于制氟硅酸盐和冰晶石,并用于电镀、啤酒消毒、木材防腐等。由二氧化硅溶解于氢氟酸中或混和石英粉氟化钙浓硫酸后加热而制得。也可从磷肥厂中分解磷矿时逸出的四氟化硅气体用水吸收而得。氟硅酸溶液中含有六氟合硅酸根离子(SiF62−),为八面体结构,Si-F键长1.71Å。